東京大学　 大学院新領域創成科学研究科／(元)キオクシア　 藤原　弘和　氏にご講演をいただきます。

株式会社AndTech（本社：神奈川県川崎市、代表取締役社長：陶山　正夫、以下 AndTech）は、R&D開発支援向けZoom講座の一環として、昨今高まりを見せる半導体プロセス　検査・解析技術での課題解決ニーズに応えるべく、第一人者の講師からなる「半導体プロセス　検査・解析技術」講座を開講いたします。

物性物理学を専門とし半導体メーカーでのデバイス開発経験を持つ講演者が先端半導体のトレンドから今後必要となる検査、解析技術、とりわけ近年開発が進められている「光と電子を利用した新しい検査手法」について詳しく紹介！

本講座は、2026年05月22日開講を予定いたします。

東京大学　 大学院新領域創成科学研究科／(元)キオクシア　 藤原　弘和　氏

・半導体デバイス・プロセスのトレンドと最新の検査・解析技術の動向、将来展望

WEB会議ツール「Zoom」を使ったライブLive配信セミナーとなります。

幅広い分野のR&Dを担うクライアントのために情報を提供する研究開発支援サービスを提供しております。

弊社は一流の講師陣をそろえ、「技術講習会・セミナー」に始まり「講師派遣」「出版」「コンサルタント派遣」

「市場動向調査」「ビジネスマッチング」「事業開発コンサル」といった様々なサービスを提供しております。

クライアントの声に耳を傾け、希望する新規事業領域・市場に進出するために効果的な支援を提供しております。

一流の講師のＷＥＢ講座セミナーを毎月多数開催しております。

選りすぐりのテーマから、ニーズの高いものを選び、書籍を発行しております。

株式会社AndTech　コンサルティングサービス

経験実績豊富な専門性の高い技術コンサルタントを派遣します。

下記プログラム全項目（詳細が気になる方は是非ご覧ください）

検査・解析により半導体デバイスの「出来栄え」を評価することは、デバイス開発、プロセス開発、製造コスト、品質保証等のあらゆる観点で不可欠なプロセスです。現代の先端ロジック・メモリ半導体集積回路を構成するデバイスは、サイズが小さくなっているのに加えて三次元化が進んでいます。半導体デバイスの世代が進むにつれて、微細かつ複雑な構造を持つデバイスをいかに検査するかという問題も大きく膨らんできています。

本講座では、半導体プロセスにおける検査・解析技術の全体像と基礎原理を理解し、半導体集積回路のトレンドを踏まえどのような技術が開発されているかを理解することを目標とします。特に、光と電子を組み合わせた新しい解析技術について詳しく解説を行います。半導体デバイス・プロセス開発や製造で検査・解析に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。

3-3. 走査透過型電子顕微鏡（STEM）

3-4. 電子エネルギー損失分光（EELS）

4-2. 走査型静電容量顕微鏡（SCM）

4-4. ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）

5-5. 先端プロセス・デバイス検査―GAAトランジスタ向けリセスプロセス解析

本講演は、物性物理学を専門とし半導体メーカーでのデバイス開発経験を持つ講演者が、先端半導体のトレンドから今後必要となる検査、解析技術を紹介します。様々な顕微検査手法を網羅的に解説するとともに、近年開発が進められている光と電子を利用した新しい検査手法についても詳しく紹介します。

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